OLED生產凈化車間裝修工程管理要點

  摘要說明為保證OLED的潔凈生產環境所采取的各種措施及良好效果。

  OLED是指有機發光二極管，又稱為有機電激光顯示

  因為具備輕薄、省電等特性，OLED屏幕具備了許多LCD不可比擬的優勢。

  OLED器件是在凈化車間內進行生產的，凈化車間裝修工程質量好壞，決定著生產線產品合格率的高低，進而影響產品成本。

  承建了一個OLED實驗線凈化車間裝修工程，本文將系統介紹該凈化車間裝修工程管理的要點。

  1工程概況

  該項目主廠房生產區域為兩層鋼筋混凝土框架結構及鋼屋架結構，混凝土屋面采用柔性高分子卷材屋面,鋼結構屋面采用機械固定的卷材屋面方式，一層層高4.8 m，二層層高6.4 m，一層技術下夾層與二層生產區之間的樓板采用華夫板方式，利用華夫板上的開洞滿足兩層之間的回風，華夫板上設置導電性架空地板，設備根據工藝要求布置在架空地板或華夫板上。

  2設施布局

  一層主要包括的功能房間為技術下夾層，回風夾道，沿下夾層區域四周布置有門廳、換鞋區、一層、化學品供應、特氣供應、廢液收集、廢水提升站、冷卻循環水站、純水拋光間、真空間、變電站、物料暫存間、成品暫存間等。

  二層是大開間的工藝生產區，布置生產設備。該層與技術下夾層之間的結構樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上方安裝架空活動地板，以滿足回風的要求；生產設備層的吊頂安裝風機過慮器單元（F F U），以滿足生產層凈化要求。

  二層核心凈化區包括的區域有PVD/CVD、光刻間、掩模清洗、注入間、RTA、ELA、CVD、基板清洗間、小片切割、蒸鍍、劃片、UV硬化、基板切割間、探針、陣列檢測間、緩沖間、有機庫、FMM庫、Q A、回風夾道等，核心凈化區周圍的其它功能房間包括有空調機房、電氣室、配電室、維修間、材料庫等。在核心凈化生產區的兩側設計回風、管道豎井，形成凈化空氣的循環回路。并且在建筑的兩邊各設計多部樓梯，形成各層對室外的疏散通道。為滿足凈化生產的微振要求，二層的樓板——華夫板擬采用較厚的穿孔樓板結構，華夫板面刷環氧樹脂涂料，為滿足生產工藝的靈活布置并提高凈化面積的使用效率，生產人員經主入口門廳進入換鞋區，再進入一次更衣，通過員工專用樓梯進入二層二次更衣室，再通過風淋室進入生產區。

  凈化車間裝修工程的空調系統由M A U（新風處理系統）

  +FFU+干盤管共同構成。生產區吊頂由風機過濾單元（FFU）與金屬吊頂框架組成，FFU視各生產機臺需要之等級均布，覆蓋率隨生產工藝需求而定。新風由MAU（新風處理系統）集中處理后與室內的循環風混合，經FFU加壓、過濾后送入生產區。生產區內設備、人員、照明、圍護結構等冷負荷均由干盤管承擔。潔凈室內濕度及正壓

  控制由MAU負責。MAU供風量需求約50000

  CMH×2+1臺，潔凈室循環風量約773000 CMH。新風入口附設不織布濾網及庫板隔間氣室于新風空調機組入口前，延長主要濾網壽命。

  在化學品庫、氣體間設置獨立的空調系統,新風經處理后送入室內，然后通過排風系統全部排至室外，空氣不循環使用。

  工藝排風系統：在工藝生產過程中會產生含酸、堿、有機溶劑、高沸點有機、有害等廢氣。為保護生產人員的健康，減少對工作環境及廠區周圍空氣的污染，分別設計了相應的局部排風系統、全室排風系統及廢氣處理系統。為消除工藝生產區工藝設備等散發的熱量所設計的局部排風系統、全室排風系統的排風不需處理可直接排入大氣。為消除工藝生產區工藝設備散發的含酸、堿、有機溶劑、高沸點有機、有害等廢氣的局部排風系統，排風須先經廢氣洗滌塔等廢氣處理裝置處理，達到國家排放標準后才能排入大氣。工藝排風系統排風機風量設定約S T R 4 0 0 C M H×1+1臺；G E X-D 18000CMH×1+1臺；EX-W&GEX-H 12300CMH×1臺，備用機與GEX-D共用；SEX 16 000CMH×1+1臺；ORG 4 000 CMH×1+1臺，所有工藝排風機均帶變頻器。

  防、排煙系統：對于大于300 m2的地上房間、長度大于40 m的疏散走道、長度大于20 m的內走道設置消防排煙系統。以高度為50 cm的擋煙垂壁劃分防煙分區，最大防煙分區的面積為500 m2。排煙風機的風量為72 000 m3/h（60 000×1.2倍）。密閉房間設置機械排煙系統時，同時設置機械補風系統，補風量為排煙量的50%。防煙樓梯間及其前室、消防電梯前室或合用前室設置防煙設施。