潔凈廠房標準-氣流之流動
潔凈廠房的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
潔凈廠房系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
潔凈廠房內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以最適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發生渦流作用,此時要實現高潔凈度事實上很困難。
潔凈廠房垂直層流式方向要保持均一氣流必須:
(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;
(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
潔凈廠房內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
潔凈廠房標準-構成
潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室
(1)天花板系統:包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等。
(3)隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。
(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈廠房之建筑主體構造,一般采用雙面板夾芯彩鋼板制造,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性小;
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高
潔凈廠房標準:設計與施工嚴格按照《ISO/DIS14644-1國際標準》、《GB50073-2001潔凈廠房裝設計規范》、《JGJ71-90潔凈廠房裝施工及驗收規范》等專業標準。
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